高性能探测器：搭配高性能探测器，在检测多层合金、上下元素重复镀层及渗层时更加精准、稳定变焦装置及位置补偿算法：可对各种异性凹槽进行检测，凹槽深度测量范围可达0-30mm自主研发EFP算法：Li（3）-U（92）元素的涂镀层，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精确测量高集成光路系统：搭配微聚焦一体的高集成垂直光路交换装置先进的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限
高性能探测器：搭配高性能探测器，在检测多层合金、上下元素重复镀层及渗层时更加精准、稳定
变焦装置及
位置补偿算法：可对各种异性凹槽进行检测，凹槽深度测量范围可达0-30mm
自主研发EFP算法：Li（3）-U（92）元素的涂镀层，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精确测量
高集成光路系统：搭配微聚焦一体的高集成垂直光路交换装置
先进的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限
